多功能集成传感器的发展历程

    近年来,多功能集成化传感器研究受到国内外的广泛关注,国内外文献报道,已经有用于环境监测、化学分析、生物保护等方面的集成传感器。多功能集成化传感器的发展已经是越来越成熟了,下面中国传感器交易网就来为大家具体介绍一下吧。   随MEMS技术和比技术的不断发展,实现传感器的集成化、多功能化成为可能。1995年,黑龙江大学温殿忠教授提出JFET压/磁电效应基本理论,用标准的松弛方法研究了结型场效应晶体管的磁电效应。      随着传感器及微电子技术的发展,人们可以在同一材料上制作几种敏感元器件,制成能够检测多个参量的集成化多功能传感器。多功能传感器主要有以下几种不同的工作原理及结构形式:几种不同的敏感元器件制作在同一个硅片,制成集成化多功能传感器,该种传感器集成度高、体积小,各个敏感元器件的工作氛围相同,容易实现补偿和校正,这是多功能传感器发展的一个方向。      几种不问的敏感元器件组合在一起形成一个传感器,可以同时测量几个参数,各敏感元器件是独立的,如将测量温度和测量湿度敏感元件组合在一起.构成温湿度多功能传感器;用同一个敏感元器件的不同效应,得到不同的信息,如将线圈作为敏感元件,在具有不同磁导率或介电常数物质的作用下,表现出不同的电容和电感。同一个敏感元件在不同激励下表现出不同特性,例如传感器施加不同的激励电乐、电流,在不同温度下,其特性不同,有时可相串于几个不同的传感器。有的多功能传感器检测出的几个信息混在一起,需要用信号处理的方法将各种信息进行分离。多功能集成化传感器将随着工业等自动化行业得到进一步发展。
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     收录时间:2016-01-19 02:01 来源:中国传感器交易网  作者:付晓茹
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