光电液位开关助力半导体设备液体泄漏监测

半导体生产设备和材料,是半导体产品的最上游。全世界每年销售的生产设备和材料,加起来总共800多亿美元左右,随着 AI 芯片、5G 芯片、汽车电子、物联网等下游的兴起,全球半导体行业重回景气周期。芯片应用领域扩大,半导体行业进入高景气周期确定。

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伴随着半导体厂房的大规模发展以及半导体生产设备的日趋复杂,半导体厂对厂房的洁净度、设备运行的故障率、生产所需的介质(生产所需的水、氨水、酸、碱及有机气体等)要求极高,生产介质所产生的泄漏将会直接影响整个生产的流程。例如:半导体设备内部及管道容易出现的漏酸、漏碱、漏水情况,这些液体的泄漏很有可能导致不可估量的损失。此类厂房需针对可能产生泄漏的区域作重点监测:上夹层主要监测运行设备(空调、空调水管等)可能产生的漏水;工作区间对使用酸碱液体生产的设备监测进出介质的管道、废介质回收导流槽等部位监测;下夹层是半导体生产的重点监测点,由于生产所需的介质一般都有该夹层进出至不同的生产线,夹层内管道纵横交错,人员进出不方便,如果产生泄漏,人工检查很难找到发生泄漏的具体位置,根据管道的布置在其下方迂回布置相应的感应线缆。

因此对液体和气体压力的监控就越来越重要.在工业生产领域离不开酸碱类化学用品,它作为产品的必要原料以及一系列反应过程中的催化剂。绝大多数酸碱类液体具有挥发性、腐蚀性、有毒性,若在生产或运输过程中发生泄漏,且未能及时发现和控制,将会带来不可预料的后果。不但遭受经济损失,环境污染,造成人员伤亡。根据各半导体厂房的生产不同,厂房内部的管道液体也有出入,例如:酸/碱等化学液体,另外大多数厂房还采用工作人员现场巡检方式,寻找安全隐患,浪费人力物力。

针对上述情况,迫切的需要一种能方便安装、反应迅速、准确度高、无人值守的高稳定性检测设备。目前传感器被广泛地应用于这一领域.尽管在许多场合,传感器独一无二的设计与精度的要求具有决定性的作用,但传感器的成本与有效性(性能价格比)也是十分重要的.针对半导体厂房设备液体泄漏问题,工釆网为半导体厂房设备液体泄漏监测提供工业级光电液位传感器/光电液位开关 - LLC210D324-003相对应的解决方案。

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LLC工业级液位传感器是单点检测,电平信号输出。 这款传感器适用于大功率输出场合,可以直接驱动白炽灯指示灯, 声音报警器,继电器或其它情形。 一个红外LED光源和光电管探测器精确地安装在传感端的基座上, 能确保在空气中达到很好的光耦合。当感应端浸入液体,红外光会 从锥形表面透射出去,而光电管接受到的光强会变小,导致输出电平发生变化。多样化的输出电路可满足不同的应用场合。如遇发生漏液,将会精准地检测到并进行报警,通过监控系统发出报警通知值班人员。漏液隐患分布范围较广,还可进行定位漏液报警器,监控漏液的实际位置,即可快速找到漏液点位,并及时处理,减少厂房损失。

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Photoelectric liquid level switch assists liquid leakage monitoring of semiconductor equipment

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